Hav nyob ntawd! Raws li tus xa khoom ntawm PECVD Graphite Boat, kuv tau pom ua ntej qhov tseem ceeb ntawm kev ua kom cov nkoj no huv si thiab tsis muaj kab mob. Hauv tsab ntawv blog no, kuv yuav qhia qee cov lus qhia txog yuav ua li cas kom txo tau cov kab mob sib kis ntawm PECVD graphite nkoj.
To taub qhov teeb meem
Ua ntej tshaj, cia peb tham txog vim li cas kev sib kis yog qhov loj heev. Thaum lub nkoj PECVD graphite tau kis kab mob, nws tuaj yeem cuam tshuam rau qhov zoo ntawm cov yeeb yaj kiab nyias. Cov kab mob paug tuaj yeem ua rau muaj qhov tsis xws luag hauv cov yeeb yaj kiab, uas tuaj yeem ua rau txo qis kev ua haujlwm thiab kev ua haujlwm ntawm lub hnub ci hlwb lossis lwm yam khoom siv tau tsim. Ntxiv rau, cov nkoj uas muaj kab mob yuav tsum tau hloov ntau zaus, uas tuaj yeem ntxiv rau cov nqi tsim khoom.
Muaj ntau qhov chaw ntawm kev sib kis hauv lub nkoj PECVD graphite. Ib qho ntawm feem ntau yog cov roj av ua ntej siv hauv cov txheej txheem deposition. Cov pa roj no tuaj yeem tso tseg cov seem ntawm lub nkoj. Lwm qhov chaw yog cov khoom hauv ib puag ncig, xws li plua plav lossis cov khib nyiab, uas tuaj yeem nyob hauv lub nkoj. Thiab cia peb tsis txhob hnov qab txog kev tuav lub nkoj nws tus kheej. Yog tias nws tsis ua haujlwm zoo, cov ntiv tes, cov roj los ntawm cov hnab looj tes, lossis lwm yam kab mob tuaj yeem raug xa mus rau lub nkoj.
Kev tu thiab tu
Kev tu tsis tu ncua yog qhov tseem ceeb rau kev txo cov kab mob. Koj yuav tsum muaj qhov zoo - lub sijhawm tu lub sijhawm rau koj lub nkoj PECVD graphite. Cov txheej txheem ntxuav feem ntau yog ua ke ntawm kev siv lub cev thiab tshuaj.
Kev ntxuav lub cev
Txoj kev ntxuav lub cev muaj xws li txhuam thiab tshuab. Siv cov txhuam txhuam mos - txhuam kom maj mam tshem tawm cov khoom xoob ntawm lub nkoj. Xyuas kom cov txhuam hniav huv si thiab tsis muaj kab mob nws tus kheej. Cov cua compressed kuj tseem siv tau los tshuab cov plua plav thiab cov khib nyiab. Tab sis ceev faj tsis txhob siv ntau dhau, vim nws tuaj yeem ua rau lub nkoj puas.
Tshuaj ntxuav
Kev ntxuav tshuaj muaj txiaj ntsig zoo dua rau kev tshem tawm cov tawv nqaij tawv. Koj tuaj yeem siv cov tshuaj ntxuav kom tsim nyog, xws li cov kua qaub me me lossis alkaline tov, nyob ntawm seb hom kab mob. Txawm li cas los xij, koj yuav tsum tau ceev faj thaum siv tshuaj. Qee cov tshuaj yuav ua rau cov graphite thiab ua rau lub nkoj puas. Ib txwm sim tshuaj ntxuav ntawm qhov chaw me me, tsis pom kev ntawm lub nkoj ua ntej.
Tom qab ntxuav, yaug lub nkoj kom huv si nrog dej deionized kom tshem tawm cov tshuaj ntxuav tu ntxiv. Tom qab ntawd, qhuav lub nkoj kom qhuav. Cov dej noo kuj tuaj yeem ua rau muaj paug, yog li xyuas kom lub nkoj yog cov pob txha - qhuav ua ntej siv nws dua.
Cia thiab tuav
Kev khaws cia kom zoo thiab tuav tau kuj yog ib qho tseem ceeb hauv kev txo cov kab mob.
Cia
Thaum tsis siv, khaws cov nkoj PECVD graphite hauv qhov chaw huv, qhuav. Ib lub thawv ntim khoom tshwj xeeb lossis chav huv yog qhov zoo tagnrho. Qhov chaw cia khoom yuav tsum tsis txhob muaj plua plav, av noo, thiab txhua qhov chaw muaj kab mob. Koj tseem tuaj yeem siv cov npog tiv thaiv kom tsis txhob muaj plua plav tawm ntawm cov nkoj.
tuav
Thaum tuav cov nkoj, ib txwm hnav hnab looj tes huv. Cov hnab looj tes nitrile pov tseg yog ib qho kev xaiv zoo vim tias lawv txo qis kev hloov cov roj thiab lwm yam kab mob ntawm koj txhais tes. Tsis txhob kov lub nkoj nto yam tsis tsim nyog. Yog tias koj xav tau txav lub nkoj, siv cov cuab yeej tuav huv si, xws li tweezers lossis cov ntiv tes.
Txheej txheem Optimization
Kev ua kom zoo rau cov txheej txheem PECVD nws tus kheej kuj tuaj yeem pab txo qis kev sib kis.
Gas Flow thiab Purity
Xyuas kom tseeb tias cov roj precursor yog cov purity siab. Cov impurities hauv cov pa roj tuaj yeem ua rau muaj kev sib kis. Tsis tas li ntawd, ua kom zoo dua cov roj ntws thiab kev faib tawm hauv chav. Ib qho roj av tsis sib xws tuaj yeem ua kom ntseeg tau tias muaj kev sib txuam ntau dua thiab txo qhov muaj feem ntawm cov khoom seem ntawm lub nkoj.
Chav tsev tu
Tsis tu ncua ntxuav lub PECVD chamber. Cov phab ntsa hauv chamber tuaj yeem khaws cov kab mob sib kis raws sijhawm, uas tuaj yeem hloov mus rau lub nkoj graphite. Siv cov txheej txheem ntxuav kom tsim nyog rau lub chamber, xws li ntxuav cov ntshav los yog ntxuav ntub.
Kev saib xyuas thiab Kev Tswj Xyuas Zoo
Ua raws li kev saib xyuas thiab kev tswj xyuas kom zoo kom taug qab cov kab mob sib kis ntawm koj lub nkoj PECVD graphite.
Kev tshuaj xyuas qhov muag
Ua qhov kev soj ntsuam tsis tu ncua ntawm cov nkoj. Saib rau tej yam cim qhia ntawm kev kis kab mob, xws li hloov xim, cov khoom seem, lossis cov seem. Yog tias koj pom muaj teeb meem, ua tam sim ntawd los ntxuav lossis hloov lub nkoj.
Cov txheej txheem analytical
Koj tseem tuaj yeem siv cov txheej txheem tshuaj ntsuam xyuas, xws li scanning electron microscopy (SEM) lossis lub zog - dispersive X - ray spectroscopy (EDX), txhawm rau txheeb xyuas thiab txheeb xyuas cov kab mob ntawm cov kab mob microscopic. Cov tswv yim no tuaj yeem muab cov ntaub ntawv muaj txiaj ntsig txog hom thiab qhov chaw ntawm kev sib kis, uas tuaj yeem pab koj siv ntau lub hom phiaj los txo nws.
Xaus
Kev txo qis kev sib kis ntawm lub nkoj PECVD graphite yog ntau - cov txheej txheem uas cuam tshuam nrog kev tu, tu, khaws cia, tuav, kev ua kom zoo, thiab kev tswj kom zoo. Los ntawm kev ua raws li cov lus qhia no, koj tuaj yeem xyuas kom meej tias koj cov nkoj nyob twj ywm huv thiab tsis muaj cov kab mob, uas yuav ua rau kom zoo dua - cov ntaub ntawv nyias nyias thiab kev tsim khoom zoo dua.
Yog tias koj nyob hauv kev ua lag luam rau siab - zoo PECVD Graphite Boat, Roj Cell Graphite Bipolar Phaj, lossis Graphite Cheebtsam, thov hu rau kev sib tham yuav khoom. Peb nyob ntawm no los pab koj ua tau raws li koj cov kev xav tau ntau lawm nrog rau sab saum toj - cov khoom lag luam.
Cov ntaub ntawv
Smith, J. "Cov Kev Cai Zoo Tshaj Plaws rau Graphite Boat Maintenance hauv PECVD Cov Txheej Txheem." Phau ntawv Journal of Semiconductor Manufacturing, 20XX, pp. XX - XX.
Johnson, A. "Kev Tiv Thaiv Kab Mob Hauv PECVD Chambers." Solar Energy Technology Review, 20XX, pp. XX - XX.