Hav nyob ntawd! Raws li tus xa khoom ntawm PECVD Graphite Boats, Kuv tau pom ua ntej yuav ua li cas cov cuab yeej zoo no tuaj yeem cuam tshuam loj rau cov txheej txheem zoo. Yog li, cia peb dhia dej mus rau hauv thiab tshawb xyuas seb lub nkoj PECVD graphite cuam tshuam li cas rau txheej txheej zoo.
Ua ntej tshaj, cia peb mus sai sai seb lub nkoj PECVD graphite yog dab tsi. PECVD sawv cev rau Plasma-Txhim kho tshuaj Vapor Deposition, uas yog txheej txheem siv los tso cov yeeb yaj kiab nyias ntawm ntau lub substrates. Lub nkoj graphite yog ib qho tseem ceeb ntawm cov txheej txheem no. Nws zoo li tus cab kuj me me uas tuav cov substrates nyob rau hauv qhov chaw thaum lub sij hawm deposition. Koj tuaj yeem kawm paub ntau ntxiv txog nws PECVD Graphite Nkoj.
Cov khoom zoo ntawm Graphite nkoj
Qhov zoo ntawm cov khoom siv graphite siv los ua lub nkoj yog qhov tseem ceeb heev. High - zoo graphite muaj ib tug tsis muaj impurity theem. Yog tias cov graphite muaj ntau cov impurities, cov impurities tuaj yeem paug cov txheej txheem PECVD. Piv txwv li, hlau impurities nyob rau hauv graphite tuaj yeem diffuse mus rau hauv cov yeeb yaj kiab nyias, ua rau muaj qhov tsis xws luag hauv txheej txheej. Cov teeb meem no tuaj yeem ua rau muaj teeb meem xws li txo hluav taws xob conductivity, tsis zoo adhesion, los yog tsis sib xws ntawm qhov chaw.
Ntawm qhov tod tes, siab - purity graphite, uas feem ntau siv hauv peb lub nkoj PECVD Graphite, muab qhov chaw huv thiab ruaj khov rau kev tso dej. Nws txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev kis kab mob thiab xyuas kom meej tias cov txheej txheem muaj cov khoom xav tau.
Tsim thiab qauv ntawm Graphite nkoj
Kev tsim ntawm lub nkoj graphite kuj ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv txheej txheej zoo. Txoj kev ntawm lub nkoj yog zoo li tus thiab yuav ua li cas nws tuav lub substrates yuav cuam tshuam rau lub uniformity ntawm txheej. Yog hais tias lub nkoj tsis tuav cov substrates kom ruaj khov, lawv yuav txav tau thaum lub sij hawm deposition txheej txheem. Qhov kev txav no tuaj yeem ua rau tsis sib xws rau cov ntshav thiab cov pa roj carbon monoxide, uas ua rau muaj cov txheej txheem tsis sib xws thoob plaws hauv lub substrate.
Tsis tas li ntawd, cov qauv sab hauv ntawm lub nkoj tuaj yeem cuam tshuam cov roj ntws nyob ib ncig ntawm lub substrates. Lub qhov dej - tsim lub nkoj tso cai rau kev faib cov pa roj ua ntej, uas yog qhov tseem ceeb rau cov txheej txheem sib xws. Piv txwv li, qee lub nkoj tau tsim nrog cov channel lossis qhov kom ua kom zoo dua cov roj ntws. Yog tias cov roj ntws tsis sib xws, tej zaum yuav muaj qhov chaw ntawm lub substrate uas cov txheej txheej yog thicker lossis nyias dua li qhov xav tau.
Nto tiav ntawm Graphite Nkoj
Qhov nto tiav ntawm lub nkoj graphite tseem ceeb heev. Ib qho chaw ntxhib tuaj yeem ua rau muaj teeb meem. Nws tuaj yeem ntxiab cov khoom lossis cov pa roj, uas tuaj yeem tso tawm thaum lub sijhawm tso cov txheej txheem thiab kis cov txheej txheem. Ib tug du nto tiav, ntawm qhov tod tes, txo qhov muaj feem ntawm particle entrapment thiab muab ib tug ruaj khov nto rau lub substrates.
Peb ua tib zoo saib xyuas qhov ua tiav ntawm peb PECVD Graphite Boats. Peb siv cov txheej txheem machining siab heev thiab polishing los xyuas kom meej tias qhov chaw yog du li sai tau. Qhov no pab kom ua tiav qhov siab - zoo, tsis zoo - txheej dawb.
Thermal Properties ntawm Graphite nkoj
Graphite muaj thermal conductivity zoo heev. Thaum lub sij hawm PECVD txheej txheem, cua sov yog generated, thiab lub peev xwm ntawm lub graphite nkoj los ua cua sov tusyees yog ib qho tseem ceeb heev. Yog tias lub nkoj tsis zoo thermal conductivity, tej zaum yuav muaj qhov kub thiab txias ntawm cov substrates. Qhov kub ntawm qhov sib txawv tuaj yeem cuam tshuam rau cov tshuaj lom neeg tshwm sim thaum lub sij hawm tso tawm, ua rau muaj kev hloov pauv hauv cov txheej txheem txheej.
Piv txwv li, qhov kub siab dua nyob rau hauv ib cheeb tsam ntawm lub substrate yuav ua rau cov txheej txheem loj hlob sai dua los yog muaj cov qauv siv lead ua sib txawv piv rau qhov chaw txias dua. Peb PECVD Graphite Boats yog tsim los ntawm graphite nrog cov thermal conductivity, uas pab tswj kom muaj qhov kub thiab txias ntawm cov substrates thiab ua kom cov txheej txheem zoo ib yam.
Compatibility nrog PECVD txheej txheem
Lub nkoj graphite yuav tsum tau sib haum nrog cov txheej txheem PECVD tshwj xeeb. Cov txheej txheem PECVD sib txawv ua haujlwm ntawm qhov sib txawv ntawm qhov kub thiab txias, kev kub siab, thiab cov khoom siv roj. Lub nkoj graphite yuav tsum muaj peev xwm tiv taus cov xwm txheej no yam tsis muaj kev puas tsuaj lossis cuam tshuam nrog cov pa roj.
Yog tias lub nkoj tsis sib haum, nws tuaj yeem tawg los yog hnov mob nrog cov pa roj carbon monoxide, tso cov khoom tsis zoo rau hauv chav tso dej tso. Qhov no tuaj yeem cuam tshuam cov txheej txheem thiab cuam tshuam rau nws qhov zoo. Peb muab ntau yam ntawm Graphite Cheebtsam thiab Graphite Base Susceptors uas tau tsim los ua tau zoo nrog ntau yam txheej txheem PECVD, kom ntseeg tau tias koj tau txais cov txheej txheem zoo tshaj plaws.
Ntev - Lub Sij Hawm Durability
Lub durability ntawm lub nkoj graphite yog lwm yam uas cuam tshuam rau txheej zoo. Sij hawm dhau mus, yog tias lub nkoj pib hnav los yog tsim cov kab nrib pleb, nws tuaj yeem cuam tshuam rau kev ruaj ntseg ntawm cov substrates thiab cov roj ntws. Lub nkoj puas yuav tsis tuav lub substrates kom zoo, ua rau kev txav mus los thiab cov txheej tsis sib xws.
Peb siv siab - graphite zoo thiab cov txuj ci tsim khoom siab heev los xyuas kom meej tias peb cov PECVD Graphite Boats tau ruaj khov. Lub nkoj ntev - ntev ntev txhais tau hais tias koj tuaj yeem tso siab rau cov txheej txheem zoo sib xws ntawm ntau lub voj voog tso tawm.
Kev cuam tshuam rau txheej adhesion
Lub nkoj graphite kuj tuaj yeem cuam tshuam qhov adhesion ntawm txheej rau substrate. Yog hais tias lub nkoj muab ib qho chaw ruaj khov thiab huv si, cov txheej txheej yuav ua tau zoo rau cov substrate. Ntawm qhov tod tes, yog tias muaj cov kab mob sib kis lossis yog tias lub substrate txav thaum lub sij hawm tso tawm, qhov adhesion tuaj yeem ua rau tsis zoo.
Zoo adhesion yog qhov tseem ceeb rau kev ua haujlwm ntawm coated substrate. Ib txheej uas tsis ua raws li txoj cai tuaj yeem tev tawm lossis delaminate, uas yog qhov teeb meem loj. Peb cov nkoj tau tsim los txhawb kev ua kom zoo los ntawm kev muab lub platform ruaj khov thiab huv si rau cov txheej txheem tso nyiaj.
Xaus
Hauv kev xaus, lub nkoj PECVD graphite muaj qhov cuam tshuam loj rau qhov zoo ntawm txheej. Los ntawm cov khoom zoo thiab tsim los rau saum npoo tiav, thermal zog, compatibility, thiab durability, txhua yam ntawm lub nkoj plays lub luag hauj lwm los xyuas kom meej lub siab - zoo txheej.
Yog tias koj nyob hauv kev ua lag luam rau kev txhim khu kev qha PECVD graphite nkoj uas tuaj yeem pab koj ua tiav cov txheej txheem saum toj kawg nkaus - notch txheej zoo, peb nyob ntawm no los pab. Peb tau txais ntau yam khoom, suav nrog PECVD Graphite Boats, Graphite Components, thiab Graphite Base Susceptors. Hu rau peb los pib kev sib tham txog koj cov kev xav tau tshwj xeeb thiab cia peb ua haujlwm ua ke kom tau txais cov kev daws teeb meem zoo tshaj plaws rau koj cov txheej txheem txheej.
Cov ntaub ntawv
"Phau Ntawv Qhia Txog Tshuaj Vapor Deposition (CVD): Cov Ntsiab Lus, Tshuab, thiab Kev Siv" los ntawm Peter C. Johnson
"Thin Film Processes II" kho los ntawm John L. Vossen thiab Werner Kern